在半導(dǎo)體工藝制程中，需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體，這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用會(huì)產(chǎn)生廢氣，這些廢氣如果沒有經(jīng)過(guò)廢氣處理設(shè)備很好的處理便進(jìn)行排放，將造成嚴(yán)重的問(wèn)題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，也會(huì)成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來(lái)源。半導(dǎo)體制程工藝中產(chǎn)生的廢氣類別大概有：一般氣體廢氣、含毒性物質(zhì)的廢氣、有機(jī)廢氣和含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣。對(duì)于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣，半導(dǎo)體廠大多采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。但由于半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠(yuǎn)，因此部分酸性/堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前，常因氣體特性導(dǎo)致在管道中結(jié)晶或粉塵堆積，造成管道堵塞后導(dǎo)致氣體外泄，嚴(yán)重者甚至引發(fā)爆炸，危害現(xiàn)場(chǎng)工作人員的工作安全。所以，在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設(shè)備進(jìn)行就地處理，之后在排入中央處理系統(tǒng)，從而避免事故的發(fā)生，這就是為什么應(yīng)就地配置廢氣處理設(shè)備的原因。